日立ハイテク

事業内容

半導体の微細化や三次元構造化に対応し、測長SEM、欠陥検査装置、プラズマエッチング装置の高度化を進める。先端半導体では製造工程が複雑化し、微細な寸法や欠陥を正確に把握する計測技術の重要性が高まっている。ヘルスケア領域では医用分析システム、科学・産業分野では電子顕微鏡や分析装置を展開。日立グループのデジタル技術とも連携し、装置から得られるデータを活用した製造・検査の高度化を推進している

注目する理由

半導体の微細計測から電子顕微鏡、医用分析まで、電子線・光学・分析技術を幅広く応用。特に測長SEMは半導体製造の品質管理を支える重要技術